凈化車(chē)間是能量消耗大戶(hù),這是因為要保持潔凈的生產(chǎn)環(huán)境所必需的空氣潔凈度等級、壓差、溫度、相對濕度要求;防止污染和交叉污染,凈化車(chē)間內應根據產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的要求排除生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵、熱量、有機溶劑等所需的全室或局部排風(fēng)裝置,與此同時(shí)需向凈化車(chē)間內送入相應的或必需的室外新鮮空氣;根據不同的空氣潔凈度等級的要求需要有必須的換氣次數/送風(fēng)量。
為進(jìn)行正常的產(chǎn)品生產(chǎn),凈化車(chē)間內的生產(chǎn)工藝設備需按產(chǎn)品的特點(diǎn)供應電力、純氣、純水、高純化學(xué)品等,這些也需消耗大量的能源,伴隨著(zhù)電力等能量的消耗,在凈化車(chē)間內產(chǎn)生的各種形式的發(fā)熱量還需進(jìn)行冷卻,有時(shí)這種需進(jìn)行冷卻的熱負荷量是不可忽視的。
凈化車(chē)間所需的凈化空調系統的冷負荷與一般工業(yè)廠(chǎng)房或寫(xiě)字樓的一般空調系統的冷負荷相比,前者因空氣潔凈度等級和無(wú)塵室內生產(chǎn)工藝要求的不同,冷負荷大約為2093-6280kj/(㎡.h),而寫(xiě)字樓的一般空調系統的冷負荷僅335-502kj/(㎡/h).半導體集成電路制造或生物醫藥產(chǎn)品的主要生產(chǎn)工序都要求在無(wú)塵室內進(jìn)行,為了保持所必須的空氣潔凈度等級,需要將大量的空氣通過(guò)高效過(guò)濾后送入無(wú)塵室內,寫(xiě)字樓的一般空調房間的換氣次數為10次.h-1以下,而大規模集成電路生產(chǎn)所需的5級(100級)、4級(10級)、3級(1級)無(wú)塵室的換氣次數可能達數百次,其送風(fēng)量將會(huì )比前者大數十倍以至百倍上,因此無(wú)塵室的凈化空調系統及其制冷機的耗電量比其他類(lèi)型建筑物的一般空調系統及其制冷機的耗電量大得多,據調查統計大規模集成電量約占工廠(chǎng)總耗電量的50%左右;制藥工廠(chǎng)潔凈廠(chǎng)房的凈化空調系統及其制冷機的耗電量約占工廠(chǎng)總耗電量的60%左右!
如果萬(wàn)級無(wú)塵室節能不采取新的措施——革新設計方法、研制新式節能設備、提高運行管理水平,則將無(wú)法滿(mǎn)足消費者的要求,所以各公司對凈化車(chē)間的凈化,無(wú)不從設計、運行管理、研究開(kāi)發(fā)方面考慮各種手段、措施來(lái)減少能耗。
一、萬(wàn)級無(wú)塵室節能方面采取的措施
1.廠(chǎng)址選擇、建筑布局與工藝設置的合理性,可以從根本上降低初投資及運行費用。
2.減少凈化空間是大家共同關(guān)注的實(shí)現節能的快捷有效途徑的方向。凈化系統的風(fēng)量取決于房間體積和換氣次數,而換氣次數大多由潔凈級別所確定,因此要降低 潔凈系統的風(fēng)量可以減小凈化空間入手。因為低風(fēng)量化即合理地選定換氣次數可以減少送風(fēng)動(dòng)力消耗。同時(shí)在管路設計中盡可能減少系統的阻力,也可達到降低送風(fēng) 動(dòng)力消耗的效果。
3.正確確定生產(chǎn)設備的熱負荷對選定空調制冷設備有直接關(guān)系。
4.空調和凈化功能的分離有利于發(fā)揮各自的技術(shù)經(jīng)濟合理性。
5.工藝過(guò)程中和空調系統的熱回收是可以直接獲益的措施,因此應充分利用這部分熱量,使之達到物盡其用的目的。
6.設計方案應具有較好的適應性(靈活性),它是實(shí)驗性車(chē)間必須考慮的問(wèn)題(如單向流/非單向流的轉換、分區轉換等)。
7.新風(fēng)集中處理有利于應用地下水預冷、除塵和加濕。
8.室內換氣次數和末級過(guò)濾器效率之間的組合(達到相同級別)需進(jìn)行經(jīng)濟比較。
二、 萬(wàn)級無(wú)塵室運行過(guò)程中的注意事項
1.生產(chǎn)工作停止時(shí),排氣柜應減小排風(fēng)量,新風(fēng)量亦應隨之調小。
2.根據不同的工藝過(guò)程應能有效控制室內換氣次數。
3.與一般空調系統相同,運行中在某些季節應盡可能利用自然的冷卻作用(室外空氣冷卻、冬季利用冷卻塔獲得冷水)。
4.過(guò)渡季是否增加新風(fēng)比,以及值班運行方式是否提前開(kāi)動(dòng)運行均應通過(guò)經(jīng)濟比較確定。
5.提高空調凈化系統的自控水平,能夠實(shí)現既保證運行質(zhì)量,又能達到節能的目的。
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