無(wú)塵凈化車(chē)間最主要之作用是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵凈化車(chē)間。
凈化車(chē)間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。按照國際慣例,無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車(chē)間無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下,就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)龋@也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。
無(wú)塵車(chē)間大部分是以工業(yè)鋁材做框架,采用風(fēng)機濾網(wǎng)機組送風(fēng),頂部蓋著(zhù)密縫盲板四周采用防靜的電垂簾形成一個(gè)密縫區,內部?jì)艋墑e可達100級~10萬(wàn)級;特別適用于車(chē)間內局部對潔凈度有嚴格要求的區域,如流水線(xiàn)作業(yè)區的高精確度產(chǎn)品組裝區。
按照無(wú)塵凈化車(chē)間管理規定,無(wú)塵凈化級別主要就是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子的數量來(lái)規定。換種解釋?zhuān)^無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是把灰塵控制在一個(gè)非常微量的單位上。而且這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒與我們常見(jiàn)的灰塵相比較已經(jīng)是小到微乎其微。但是對于光學(xué)構造來(lái)講,一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都可能會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響。因此在無(wú)塵凈化車(chē)間管理規定中說(shuō)明在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,要求無(wú)塵凈化車(chē)間無(wú)塵是必然的。
無(wú)塵凈化車(chē)間的結構:
1、無(wú)塵凈化車(chē)間工程,由中央空調和空氣凈化系統組成,它們就是凈化系統的心臟。主要控制無(wú)塵凈化車(chē)間空氣灰塵微粒數,調節車(chē)間溫度和溫度。
2、風(fēng)淋室、更衣室、凈化間是潔凈車(chē)間凈化系統的三個(gè)基本組成部分。風(fēng)淋室是進(jìn)出潔凈區的通道,利用噴出的高速潔凈氣流,可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁,上部彩鋼天花吊頂,地板用環(huán)氧樹(shù)脂鋪成。
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