江蘇無(wú)錫凈化廠(chǎng)家給您整理關(guān)于凈化車(chē)間的種類(lèi)_技術(shù)文獻

江蘇無(wú)錫凈化廠(chǎng)家給您整理關(guān)于凈化車(chē)間的種類(lèi)

來(lái)源：無(wú)錫易純凈化　日期：2018/12/22 15:22:53　人氣：161返回

什么是凈化車(chē)間？將懸浮在空氣中的微生物控制在規定的限定空間叫做凈化車(chē)間。除了控制微生物，房間內的濕度。溫度和壓力等相關(guān)參數也要受到控制。

凈化車(chē)間主要分為以下三種種類(lèi)

亂流式：空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無(wú)塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多，凈化級別越高)。此型式適用于無(wú)塵室等級1,000-100,000級。優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，無(wú)塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高無(wú)塵室等級。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。

層流式：層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

1.水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

2.垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì )影響其它工作區域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

　復合式：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1.潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易; B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。

2.潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

3.并裝局部無(wú)塵室(Clean Spot)：將無(wú)塵室等級10,000~100,000之亂流無(wú)塵室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。潔凈工作臺：等級Class 1~100級。潔凈工作棚：為在亂流式之無(wú)塵室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。